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摘 要:本实用新型属于半导体检测技术领域,且公开了一种测量半导体晶片厚度的检测装置,包括底座,所述底座顶部的右端固定安装有竖板,所述竖板的顶部固定安装有顶板,所述顶板的底端与竖板的左端之间固定安装有支撑板,所述顶板的顶部固定安装有气压缸。本实用新型通过设置气压缸、竖块、运动块和刚性弹簧,由于气压缸的运行,将会带动第一运动板和竖块向下发生运动,并带动运动块一同向下运动,使得运动块相对于竖块向上运动,当竖块运动至与底座的顶部接触时停止运动,通过运动块运动的高度差,从而可以便于工作人员对半导体芯片的厚度进行检测,降低了测量误差,提高了工作人员的作业效率。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202122318335.6 | 专利名称: | 一种测量半导体晶片厚度的检测装置 |
申请日: | 2021-09-24 | 申请/专利权人 | 深圳市采芯检测科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 广东省深圳市福田区华强北街道福强社区深南中路2070号电子科技大厦C座15NN3单元 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B5/06搜分类 测量测绘 半导体 检测搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2022/09/23 | 授权 |