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一种半导体表面研磨装置

来源:https://www.shizifang.com  发布日:2022/06/27

摘     要:本实用新型提供了一种半导体表面研磨装置,包括研磨装置、储水盒和收液箱,研磨装置右侧下方固定连接有储水盒,研磨装置下方固定连接有收液箱,通过储水盒由加水管、水泵、抽水管、喷头和电源控制器所构成设置,使其研磨使用研磨液作业时,由水泵抽出水源至抽水管,经喷头喷出水源到加工台和固定件上,避免了研磨液容易在加工台和固定件处形成结晶现象,避免难以清理的缺点,达到便于后续使用,解决了在半导体制造中,需要对初步生产出来的半导体晶圆进行表面研磨抛光,对其处理时,用到研磨液辅助研磨使用,但是喷射出的研磨液在使用时会在加工台和固定的位置上造成结晶,在后续的使用中会造成影响的问题。

著 录 项: 

专利/申请号: CN202122318278.1 复制 专利名称: 一种半导体表面研磨装置 复制
申请日: 2021-09-24 申请/专利权人 昆山瑞旺捷精密机械有限公司
专利类型: 实用新型 地址: 江苏省苏州市昆山市玉山镇北门路3069号4号房
专利状态: 已下证 查询审查信息 分类号: B24B37/00搜分类   半导体 表 研磨装置搜索
公开/公告日: 2022-08-30 转让价格: 面议
公开/公告号: CN217317530U 交易状态: 等待洽谈   搜索相似专利

专利交易流程

  • 1. 买家选定所需专利,确认国家手续办理方,下单,确认交易合同;
    2. 卖家确认专利可交易;
    3. 买家支付交易款项到平台;
    4. 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方;
    5. 办理国家手续方提交办理官方手续,国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》;
    6. 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》;
    7. 平台把交易款项支付给卖家,至此专利转让合同完成。

专利转让材料

  • 交易方 企业 个人
    买家 营业执照副本复印件(需盖公章) 身份证复印件(签字)
    专利转让委托书(需盖公章)一式两份 专利转让委托书(需签字)一式两份
    专利转让协议(需盖公章)一式两份 专利转让协议(需签字)一式两份
    卖家 营业执照副本复印件(需盖公章) 身份证复印件(需申请人签字)
    解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请)
    专利转让协议(需盖公章)一式两份 专利转让协议(需签字)一式两份
    专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
    专利证原件(若授权下证) 专利证原件(若授权下证)

专利法律信息

  • 日期 法律信息 备注
    2022/08/30 授权
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