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摘 要:本实用新型涉及测试探针技术领域,且公开了一种真空吸附式晶圆测试探针座,包括安装座,所述安装座的左侧开设有空腔,所述安装座的左侧固定有吸盘,所述安装座的底部固定有排气管,所述排气管的顶端与空腔相连通,所述排气管的中部安装有单向阀,所述安装座的顶部固定有进气管,所述进气管的底端与空腔相连通,所述进气管的外侧固定有挡环。该真空吸附式晶圆测试探针座,通过设置安装座、空腔、吸盘、排气管、单向阀、进气管、挡环、通气口、螺纹部、密封盖、第一密封环、第二密封环、固定块、安装槽、第一防护垫、测试探针本体、压板、第二防护垫、螺纹柱、转柄、插杆和套杆,以便于对测试探针本体进行拆卸更换。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202122568371.8 | 专利名称: | 一种真空吸附式晶圆测试探针座 |
申请日: | 2021-10-25 | 申请/专利权人 | 贵州中芯微电子科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 贵州省贵阳市清镇市站街镇下高枧组清镇经济开发区电子信息产业园1号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01R1/067搜分类 半导体 吸附搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2022/06/21 | 授权 |