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发明专利
已授权
基于等离激元效应的多参数测量传感芯片及制备方法
📄 申请号:CN201910348875.3
📄 发布日:2026/08/10
著录项目信息
申请日
2019-04-28
公开号
CN110044393A
公开日
2019-07-23
申请人
南京信息工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01D5_26
IPC 分类号
G01D5_26
,
G01K11_00
,
G01L1_24
,
G01L11_02
,
技术画像
所属领域
其他分类
其他
应用场景
生物分子检测, 医学诊断, 环境监测, 食品安全检测, 化学分析
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摘要
本发明公开一种基于等离激元效应的多参数测量传感芯片及制备方法,芯片包括热膨胀聚合物底层,所述底层上设置有环形金属狭缝阵列,所述环形银狭缝内圆为金属块,所述金属块附着在热膨胀聚合物底层上。本发明可以根据光谱仪知SPP共振波长的具体变化量,从而进行温度和压力的多参数测量,本发明将温度和压力传感测量合二为一,提高了灵敏度和集成度,且易于加工制造,成本低。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20250805
⏳ 开放许可声明 :
20210511
✅ 授权
20190816
?? 实质审查的生效 :
20190723
📄 公开
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📋 交易方式:
委托待转让
📌 交易状态:
在售
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📋 项目申报:
未申报
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