高灵敏度微纳巨压阻雨量传感器及其制备方法、测量结构

摘     要：本发明公开一种高灵敏度微纳巨压阻雨量传感器及其制备方法、测量结构，传感器包括传感器阵列，传感器阵列单元包括多个硅铝异质结的传感单元、供电电极对、信号检测引出电极对、参考引出电极对；各传感单元包括两个硅铝异质结的压力敏感结构、硅底层、绝缘二氧化硅层和硅顶层；两个结构与特性一致硅铝异质结平行设置在传感器两端，硅铝异质结侧部设置激励电极和检测电极。本发明在应用时，通过雨量压力引起传感器芯片形成机械应力使改变硅铝异质结的接触势垒大小，来实现巨压阻效应；作为参考部分的铝异质结伏安特性改变不是由受力引起，可作为差分的参考电路排除温度的影响。本发明测量灵敏度高，准确，适用于高精度的雨量测量场合。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注