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摘 要:本发明公开了一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法。是一种在石英片上利用双层辉光等离子物理溅射沉积技术通过两步法实现石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备。具体是将石英片丙酮清洗,高压氮气烘干处理;高纯低熔点和高熔点金属靶作为氧化物的金属元素溅射源,用丙酮进行清洗,同时通入一定比例的氩气和氧气作为金属氧化物的合成气氛条件;将预处理好的基片和靶材样品放入双层辉光等离子溅射腔室内,采用两步法工艺实现氧化物薄膜的制备。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710176713.7 | 专利名称: | 一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法 |
申请日: | 2017-03-23 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/08搜分类 石墨烯 膜的制备方法搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |