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一种在工件表面制备微纳二维结构的加工方法及装置

Name: 一种在工件表面制备微纳二维结构的加工方法及装置
Brand: 江苏大学
SKU: 2019101197861
Price: 10800.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910119786.1 📄 发布日：2026/08/31

著录项目信息

申请日

2019-02-18

申请人

江苏大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C25D5_18

IPC 分类号

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

精密制造, 表面功能化, 光学器件制造, 生物医疗器械制造, 模具制造

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摘要

本发明公开了一种在工件表面制备微纳二维结构的加工方法及装置，属于特种加工领域。该方法在加工过程中采用激光烧蚀与电化学沉积相耦合的方法，激光束聚焦在工件基板表面，通过数控系统控制激光烧蚀的区域和路径，在工件基板表面加工出微米级结构；激光烧蚀的同时，工具阳极保持正对烧蚀区域，在工件基板该区域微米结构上沉积出纳米结构。为了将阳极电场最大限度的约束在电极顶端区域，将工具阳极穿入绝缘玻璃管内实现侧壁绝缘。另外，激光的热-力效应使辐照区域溶液温度升高，同时产生强烈的搅拌作用，加快沉积液的循环流动更新，促进纳米结构的快速高效生长。本发明适用于零部件表面的微纳二维结构的高效加工和制造。

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图1

图2

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