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摘 要:本实用新型公开了一种高效多功能半导体晶片清洗装置,包括:过滤箱;固定结构,其固定安置于过滤箱内,且位于中心部位处;辅助结构,其固定安置于过滤箱上壁面,且位于中心部位处,本实用新型涉及半导体晶片清洗技术领域,通过发动第一电机,带动托盘在固定盘内转动,当托盘转动时,会带动托盘上的晶片做圆周运动,通过打开阀门,使水喷到晶片上,起到降低污垢附着能力的作用,此时由于晶片做圆周运动,晶片上的污垢会由于离心力,随着水一起甩出,流入过滤箱内,通过过滤板的过滤,可将水中的污垢过滤,发动第二电机,带动风扇转动,由于托盘的转动甩干,以及风扇的风干,使晶片快速干燥,取出后便可直接使用,大大提升了清洗装置的清洗效率。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202022974563.4 | 专利名称: | 一种高效多功能半导体晶片清洗装置 |
申请日: | 2020-12-12 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B08B3/02搜分类 半导体 清洗 高效搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2021/11/16 | 授权 |