一种自适应离子强度的磁控溅射台

著 录 项 目：

摘     要：本发明涉及集成电路技术领域，且公开了一种自适应离子强度的磁控溅射台，包括机体、溅射腔室、屏蔽罩、旋转电极、基板、溅射靶材、底板，所述底板的两侧均固定连接有滑动块，所述滑动块的数量为两个，两个所述滑动块之间固定连接有支撑杆，所述支撑杆的底部固定连接有定位杆，所述定位杆的末端固定连接有磁块，所述磁块的底部固定连接有支撑杆。通过滑动块与支撑杆之间的配合使用，使得底板由固定安装优化为滑动安装，使得基片可以移动不同的间距，同时通过磁力相吸的原理，使得基片在溅射过程中，可以根据溅射的功率自动移动较佳的位置，当功率较大时，磁力释放大吸引力大，使得基片自动向下放移动拉开与溅射靶材之间的间距。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2021/12/07	授权
  2021/11/30	专利申请权的转移	登记生效日: 2021.11.18 申请人由张拥银变更为上海耀佳宏源智能科技有限公司 地址由416000 湖南省湘西土家族苗族自治州罗依溪镇打兰坳226号变更为201800 上海市嘉定区新成路500号J
  2020/03/03	实质审查的生效	IPC(主分类): C23C 14/35 专利申请号: 201911076988.9 申请日: 2019.11.06
  2020/02/07	公开