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24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN201911345832.6 | 专利名称： | 链式晶圆清洗干燥用链式提升装置 |
| 申请日： | 2019-12-24 | 申请/专利权人 | |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | B65G23/06分类检索 半导体 提升装置专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本发明公开了一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，传动链条依次绕接在四个链轮上，四个链轮呈梯形分布，传动链条上间隔铰接有多个清洗夹具，清洗夹具用于夹持晶圆，翻转导轨用于将清洗夹具从竖直状态翻转为水平状态以及将清洗夹具从水平状态翻转为竖直状态；本发明能够实现晶圆清洗干燥处理的连续式生产，大大提高晶圆清洗干燥的生产效率，满足工业化生产要求。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2021/05/28 | 授权 | |
| 2020/05/12 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): B65G 23/06 专利申请号: 201911345832.6 申请日: 2019.12.24 |
| 2020/04/17 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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