链式晶圆清洗干燥用链式提升装置

摘     要：本发明公开了一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，传动链条依次绕接在四个链轮上，四个链轮呈梯形分布，传动链条上间隔铰接有多个清洗夹具，清洗夹具用于夹持晶圆，翻转导轨用于将清洗夹具从竖直状态翻转为水平状态以及将清洗夹具从水平状态翻转为竖直状态；本发明能够实现晶圆清洗干燥处理的连续式生产，大大提高晶圆清洗干燥的生产效率，满足工业化生产要求。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2021/05/28	授权
  2020/05/12	实质审查的生效	IPC(主分类): B65G 23/06 专利申请号: 201911345832.6 申请日: 2019.12.24
  2020/04/17	公开