一种半导体衬底清洗装置

摘     要：本实用新型公开了一种半导体衬底清洗装置，本实用新型涉及清洗装置技术领域，半导体衬底清洗装置，包括上箱体、下箱体、电磁阀以及夹具，下箱体固定连接在上箱体正下方，且电磁阀位于上箱体右侧，夹具位于上箱体内部中间，上箱体呈中空状，且上箱体内部底面中间开有滑槽，滑槽朝前延伸至上箱体前侧，且上箱体左右内壁螺纹连接有至少十个对称排布的雾化喷头，雾化喷头表面均匀分布有若干个喷孔，且上箱体内部底面开有若干个通孔；本实用新型的有益效果在于：通过滑槽移动夹具便于衬底的拆卸和安装，通过雾化喷头使得衬底清洗彻底且避免损坏，使用脚踏开关控制电磁阀使得操作简单，出液量方便人为控制。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2021/06/25	授权