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发明专利
已授权
一种增强灵敏性的亚太赫兹波探测器
📄 申请号:CN201910021815.0
📄 发布日:2026/05/14
著录项目信息
申请日
2019-01-10
公开号
CN109632093B
公开日
2020-10-23
申请人
徐州天骋智能科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01J1_42
IPC 分类号
G01J1_42
技术画像
所属领域
太赫兹波探测
太赫兹探测技术
光电子器件
半导体器件
太赫兹波探测
应用场景
太赫兹成像, 安全检查, 无损检测, 医学成像, 无线通信
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摘要
本发明涉及一种增强灵敏性的亚太赫兹波探测器,包括衬底层,所述衬底层的上方设置有引线电极以及对数周期天线,对数周期天线的两臂分别与对应的引线电极电连接;所述对数周期天线的两臂之间设置有石墨烯导电层,该石墨烯导电层与对数周期天线的两臂电连接,所述石墨烯导电层的上方设置有介质层,所述介质层上设置有劈裂栅极,以及与劈裂栅极电连接的引线电极;所述石墨烯导电层的中部段设置有多个间隔的中空孔;该增强热量吸收的亚太赫兹波探测器,通过改变石墨烯导电层的结构,使得石墨烯导电层在进行导电的时候能够吸收更多的热量,载流子的浓度更高,从而提高了探测光波的敏感度,提高了亚太赫兹波探测器的灵敏度。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20201023
✅ 授权
20201013
⏳ 专利申请权的转移 :
20190524
?? 实质审查的生效 :
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