发明专利已授权

一种定向腐蚀膜组件及其使用方法

📄 申请号：CN201610892742.9 📄 发布日：2025/12/18

著录项目信息

申请日

2016-10-12

申请人

孙健春

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23F1_28

IPC 分类号

技术画像

所属领域

微纳加工技术微纳加工技术湿法刻蚀选择性腐蚀

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 微机电系统, 微流控芯片, 精密加工

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摘要

本发明公开了一种定向腐蚀膜组件及其使用方法，所述定向腐蚀膜组件包括复合膜体，所述复合膜体形成用于容纳水箱盖体的腐蚀袋，所述腐蚀袋设有开口，所述开口处设有密封条；所述复合膜体包括外层膜体和与外膜体复合的内层膜体，所述内层膜体表面设有泡体，所述泡体内有盐酸溶液，所述复合膜体上还设有单向吸气阀。这样的腐蚀膜组件，排出了外界其他气体和杂质的影响，反应变得可控；同时内层膜体表面的泡体位置可以通过合理的设计而实现正真的定向腐蚀；通过定向腐蚀之后的钢件表面产生腐蚀坑，在后续的喷涂中增加了钢件附着表面积，提高了附着牢固程度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

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