一种氧化镓晶片去应力退火方法

摘     要：本发明公开了一种氧化镓晶片去应力退火方法，本发明将氧化镓晶片装载到辅助陶瓷工装架（1）上，再把辅助陶瓷工装架（1）置于退火用晶钵（2）内，向晶钵内填满氧化镓晶体粉末，然后采用三段式升温，保温的方法，200～300℃，保温3～5h；600～800℃，保温6～10h；1000～1200℃，保温10～20h；然后降温得到去应力的氧化镓晶片。本发明通过大量实验筛选得到最佳的加工工艺，尤其是最佳的升温温度，保温时间等，整个工艺方法设计合理，可操作性强，可有效的使氧化镓晶片研磨抛光加工前残留的应力缺陷得到均匀、充分的去除释放，大幅度降低氧化镓晶片研磨抛光后的翘曲和弯曲程度，提高氧化镓晶片加工质量。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2017/11/28	授权
  2016/01/27	实质审查的生效	IPC(主分类): C30B 33/02 专利申请号: 201510662849.X 申请日: 2015.10.14
  2015/12/30	公开