半导体制造设备的机台性能匹配方法和系统

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摘     要：本发明公开了一种半导体制造设备的机台性能匹配方法和系统。系统包括多个加工机台、错误侦测分类系统、产品质量测试仪、数据收集引擎与处理系统，多个加工机台执行相同的产品制造工艺，加工同种规格的产品；错误侦测分类系统监控工艺过程中所有加工机台的生产过程；并向数据收集引擎与处理系统提供所有监控的过程变量数据；产品质量测试仪抽样检测工艺过程中已经加工产品的质量，并向数据收集引擎与处理系统提供质量数据。本发明通过对同一工艺流程中多个加工机台的性能匹配，迅速找到影响品质差的机台的关键过程变量，为现场工程师提供机台维修时的参数调整方案，使得不同机台间的产品能有几乎相同的质量。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

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