一种高效的半导体晶圆清洗装置

摘     要：本实用新型公开了一种高效的半导体晶圆清洗装置，涉及到半导体技术领域。包括箱体，所述箱体的底部设置有电机一，所述电机一的端头设置有转轴一，所述转轴一的另一端设置有皮带，所述皮带的另一端设置有转轴二，所述转轴二的另一端套设有转盘，所述转盘的周围设置有若干连接块一，所述连接块一的内部设置有连接杆。有益效果：在转盘上设置多个放置槽，利用电机带动转盘旋转，喷头对放置槽内的半导体喷淋，实现了对多个半导体晶圆的集中清洗，提高了装置的利用效率和清洗效率，利用螺纹杆转动带动连接块二上下运动，从而使喷头可以上下调整，可以清洗到大面积的半导体晶圆，使清洗液能够与半导体晶圆充分接触，提高了装置的清洗质量。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2020/11/17	授权