发明专利已授权

一种垂直扫描测量白光干涉测头

Name: 一种垂直扫描测量白光干涉测头
Brand: 洛阳理工学院
SKU: 201710161336X
Availability: InStock

📄 申请号：CN201710161336.X 📄 发布日：2026/11/10

著录项目信息

申请日

2017-03-17

公开号

CN106767521A

公开日

2017-05-31

申请人

洛阳理工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_24

IPC 分类号

G01B11_24 , G01B9_02 ,

技术画像

所属领域

光学干涉测量光学干涉测量精密测量仪器垂直扫描测量

应用场景

精密测量, 表面形貌测量, 工业检测, 半导体检测, 光学元件检测

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摘要

本发明公开了一种垂直扫描测量白光干涉测头，包括白光显微干涉装置、垂直运动装置、双光栅位移计量装置、图像采集系统、信号处理系统和计算机控制系统；白光显微干涉装置包括照明光路、显微干涉组件和CCD图像拾取组件，垂直运动装置包括垂直运动组件，其内平台带动Mirau干涉显微镜对被测工件进行垂直扫描，同时内平台带动双光栅位移计量装置的动光栅移动，经静光栅发生二次衍射并产生干涉条纹，光电接收器接受干涉条纹，经信号处理电路处理后得到垂直运动组件的内平台实时位移。计算机处理系统通过处理垂直扫描过程中的白光干涉图像和垂直运动组件的内平台的位移，可得到被测表面的三维形貌。本发明具有结构紧凑、测量精度高等特点。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN106767521A

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该专利的转让价格是多少？

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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