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定位制备InAs纳米线阵列的装置及制备方法

Name: 定位制备InAs纳米线阵列的装置及制备方法
Brand: 江南大学
SKU: 2023104269745
Availability: InStock

📄 申请号：CN202310426974.5 📄 发布日：2026/11/05

著录项目信息

申请日

2023-04-20

公开号

CN116575018B

公开日

2026-01-09

申请人

江南大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C18_44

IPC 分类号

C23C18_44 , C30B25_16 , C30B29_40 , B82Y30_00 , B82Y40_00 ,

技术画像

所属领域

半导体材料半导体材料纳米材料化学气相沉积

应用场景

半导体器件, 光电器件, 红外探测, 集成电路, 纳米电子器件

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摘要

本发明涉及一种定位制备InAs纳米线阵列的装置及制备方法，将可控的二维移动装置与限域直流放电相结合，通过控制装置移速、前驱体流速以及气速，能够实现在基板上沉积不同排列间隙及尺寸的贵金属纳米催化剂阵列；实现对InAs纳米线间距的精细控制。本发明相较于常规的溶液制备催化剂方法，步骤更为精简，将催化剂直接通过电流打印在基底上，加快了反应速度，避免使用化学还原剂；本发明还能够通过控制参数来控制催化剂颗粒大小，进而控制反应速率、纳米线成品粗细；本发明制备的催化剂颗粒带有电荷，在静电排斥作用下阻止催化物聚集，保障催化物的均一性，进而保证纳米线成品的纯度和陈列形状。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于DSP抗菌材料喷涂干燥装置

当前第 / 件

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