发明专利已授权

一种快速吹干花篮和硅片的风刀

Name: 一种快速吹干花篮和硅片的风刀
Brand: 苏州港麟微电子有限公司
SKU: 2024107084707
Availability: InStock

📄 申请号：CN202410708470.7 📄 发布日：2026/11/02

著录项目信息

申请日

2024-06-03

公开号

CN118670106B

公开日

2025-04-01

申请人

苏州港麟微电子有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F26B9_10

IPC 分类号

F26B9_10 , F26B21_00 , F26B25_18 ,

技术画像

所属领域

风刀风刀气流干燥半导体晶圆处理

应用场景

硅片干燥, 花篮干燥, 光伏电池制造, 半导体晶圆制造, 晶圆清洗后干燥

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明涉及硅片吹干技术领域，公开了一种快速吹干花篮和硅片的风刀，包括：风刀主体，设于花篮的一侧，花篮内承载有多个硅片，风刀主体形成的气流与硅片平行，且从相邻的两个硅片之间经过；风刀主体设置在承载架上，风刀主体上设有用于检测气流方向的检测部，在风刀主体形成的气流方向出现偏差时，通过控制部控制驱动部调节风刀主体在承载架上的位置，以使形成的气流与硅片平行。通过风刀主体竖直向下吹出高速的气流，当高速气流经过两个硅片之间时，能够将硅片上的液体带走，高速气流与硅片平行，能够减少对硅片的冲击力，防止对硅片造成损伤；由于气流速度提升，所以气流的温度可采用常温或者比烘干更低的温度，防止高温使硅片的应力变大。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN118670106B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种乳酸菌快速降解荔枝果肉单糖双糖保留活性成分的方法

当前第 / 件

复合约束下基于点云的自适应机械臂人机物体传送方法、系统、机器可读存储介质及数据处理设备

同领域国内专利 · IPC: (F26B9_10)

F26B9_00 F26B9_02 F26B9_04 F26B9_06 F26B9_08 F26B9_10 覆盖6个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：10 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)