发明专利已授权

一种石英晶片清洗装置及清洗方法

Name: 一种石英晶片清洗装置及清洗方法
Brand: 陕西科技大学
SKU: 2019106515216
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910651521.6 📄 发布日：2026/10/30

著录项目信息

申请日

2019-07-18

公开号

CN110238122A

公开日

2019-09-17

申请人

陕西科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B08B3_12

IPC 分类号

B08B3_12 , B08B3_10 , B08B3_08 ,

技术画像

所属领域

石英晶片清洗石英晶片清洗精密清洗设备压电晶体制造

应用场景

石英晶片制造, 电子元器件生产, 压电频率器件制造, 半导体清洗, 精密清洗

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摘要

本发明公开了一种石英晶片清洗装置及清洗方法，清洗装置通过多个传动机构动作相互配合，实现晶片的清洗动作，清洗效果大大提升。整体结构紧凑，承载能力强，操作简单。上下运动有固定导柱和滑轨，运动平稳、可靠。通过清洗装置实现上下大行程往复运动，液面下一定频率的上下微调，旋转运动，通过液体对晶片的冲刷作用，实现了对晶片的全方位的清洗；同时利用超声波在化学清洗液中的空化及直进流作用及化学试剂的腐蚀作用，快速清洗石英晶片表面污染物。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN110238122A

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：8 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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