石英晶片清洗 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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法律状态：全部已授权审中

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本发明公开了一种石英晶片清洗装置及清洗方法，清洗装置通过多个传动机构动作相互配合，实现晶片的清洗动作，清洗效果大大提升。整体结构紧凑，承载能力强，操作简单。上下运动有固定导柱和滑轨，运动平稳、可靠。通过清洗装置实现上下大行程往复运动，液面下一定频率的上下微调，旋转运动，通过液体对晶片的冲刷作用，实现了对晶片的全方位的清洗；同时利用超声波在化学清洗液中的空化及直进流作用及化学试剂的腐蚀作用，快速清洗石英晶片表面污染物。

📄 2019106515216 📂 B08B3_12 👤 陕西科技大学 📅 2019-07-18

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一种石英晶片清洗装置及清洗方法

2019106515216 · 陕西科技大学

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