实用新型已授权

一种感应等离子体源的保护装置

Name: 一种感应等离子体源的保护装置
Brand: 广州市鸿浩光电半导体有限公司
SKU: 2022209592885
Availability: InStock

📄 申请号：CN202220959288.5 📄 发布日：2026/09/28

著录项目信息

申请日

2022-04-24

公开号

CN217217147U

公开日

2022-08-16

申请人

广州市鸿浩光电半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H05K5_02

IPC 分类号

H05K5_02 , H05K5_03 , H05K7_14 , H05H1_24 ,

技术画像

所属领域

感应耦合等离子体感应耦合等离子体等离子体源防护半导体制造设备

应用场景

半导体制造, 等离子体刻蚀, 等离子体沉积, 真空镀膜, 材料表面处理

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摘要

本实用新型提供一种感应等离子体源的保护装置，涉及等离子体源技术领域，包括箱体，所述箱体的顶部固定连接有外壳，所述外壳远离箱体的一侧通过铰链转动连接有盖板。本实用新型，轻轻用力掰动扣板，进行吸附的子磁铁块和母磁铁块进行分离，转动扣板与扣块分离，扣块从扣板内部进行移出，扣板打开后对盖板施加作用力，盖板向远离外壳的一侧进行转动，盖板与外壳进行分离，打开盖板后便可看到外壳内部安装的设备本体，对设备本体进行使用即可，通过把设备本体固定安装在外壳的内部并利用盖板进行遮挡，降低设备本体因裸露在外部受到损坏的概率，提高设备本体的使用寿命，提高加装外壳对设备本体进行保护的安全措施。

常见问题

这项专利是否已经下证？

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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