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本实用新型提供一种感应等离子体源的保护装置，涉及等离子体源技术领域，包括箱体，所述箱体的顶部固定连接有外壳，所述外壳远离箱体的一侧通过铰链转动连接有盖板。本实用新型，轻轻用力掰动扣板，进行吸附的子磁铁块和母磁铁块进行分离，转动扣板与扣块分离，扣块从扣板内部进行移出，扣板打开后对盖板施加作用力，盖板向远离外壳的一侧进行转动，盖板与外壳进行分离，打开盖板后便可看到外壳内部安装的设备本体，对设备本体进行使用即可，通过把设备本体固定安装在外壳的内部并利用盖板进行遮挡，降低设备本体因裸露在外部受到损坏的概率，提高设备本体的使用寿命，提高加装外壳对设备本体进行保护的安全措施。