实用新型 已授权

一种带有自动校准功能的半导体芯片切割装置

📄 申请号:CN202522289337.5 📄 发布日:2026/09/21

著录项目信息

申请日
2025-10-29
公开号
CN224827133U
公开日
2026-10-09
申请人
山东福吉半导体科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

集成电路制造, 半导体封装, 晶圆划片, 工业自动化, 精密加工

摘要

本实用新型公开了一种带有自动校准功能的半导体芯片切割装置,涉及半导体加工设备领域,解决传统切割装置定位精度不足、路径偏差大的问题。装置由装置机架、切割台、刀头组件、移动机构等构成。切割台通过菱形定位凸台和负压吸附孔精准固定芯片,校准柱与蓝宝石反光镜提供校准基准;刀头组件的校准执行机构利用激光反射,配合微型电动微调架实现自动校准;移动机构采用双导轨同步驱动,伺服电机带动滚珠丝杠传动,滚柱直线导轨与预紧调节垫片确保高精度移动,金属膜片式弹性联轴器可补偿轴偏差。该方案实现切割过程的自动校准与高精度控制,提升切割精度和稳定性,适用于各类半导体芯片精密切割。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN224827133U

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该专利的转让价格是多少?

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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