发明专利已授权

基于视觉检测的半导体器件表面除尘装置及方法

📄 申请号：CN202511245493.X 📄 发布日：2026/09/09

著录项目信息

申请日

2025-09-02

公开号

CN121131350B

公开日

2026-08-28

申请人

深圳市微光睿智科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B08B7_00

IPC 分类号

B08B7_00 , B08B5_04 , B08B13_00 , G01N21_94 ,

技术画像

所属领域

半导体器件制造设备半导体器件制造设备机器视觉检测表面清洁与除尘工艺

应用场景

半导体器件制造, 集成电路封装, 晶圆表面洁净处理, 芯片生产线在线除尘, 电子元器件表面清洁

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摘要

本发明属于半导体制造及除尘技术领域，尤其公开了一种基于视觉检测的半导体器件表面除尘装置及方法，所述基于视觉检测的半导体器件表面除尘装置包括：外壳，作为半导体器件表面除尘装置整体的框架；显示屏，活动安装于外壳一端，用于对半导体器件表面除尘过程中进行检测和观察；表面除尘装置包括：输送架，固定安装于外壳内壁底端，用于对半导体器件进行输送；视觉检测结构，固定安装于外壳内部，用于对半导体器件表面的灰尘进行视觉检测；通过可调范围的吸附罩确保了作用范围与污染区域高度一致，使得吸附力更加集中和高效，这种协同的除尘方式，提高对灰尘的捕获能力和成功率，尤其对于粘附力较强的灰尘效果显著。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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