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本发明属于半导体制造及除尘技术领域，尤其公开了一种基于视觉检测的半导体器件表面除尘装置及方法，所述基于视觉检测的半导体器件表面除尘装置包括：外壳，作为半导体器件表面除尘装置整体的框架；显示屏，活动安装于外壳一端，用于对半导体器件表面除尘过程中进行检测和观察；表面除尘装置包括：输送架，固定安装于外壳内壁底端，用于对半导体器件进行输送；视觉检测结构，固定安装于外壳内部，用于对半导体器件表面的灰尘进行视觉检测；通过可调范围的吸附罩确保了作用范围与污染区域高度一致，使得吸附力更加集中和高效，这种协同的除尘方式，提高对灰尘的捕获能力和成功率，尤其对于粘附力较强的灰尘效果显著。