实用新型已授权

一种集成电路加工用清洁设备

📄 申请号：CN202221850341.4 📄 发布日：2026/09/04

著录项目信息

申请日

2022-07-18

公开号

CN217748451U

公开日

2022-11-08

申请人

安徽丰士通电子科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B5_04

IPC 分类号

B08B5_04 , B08B13_00 , H05K3_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备晶圆清洗精密清洗技术

应用场景

集成电路制造, 半导体晶圆加工, 芯片封装前清洗, 微电子器件清洁

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摘要

本实用新型公开了一种集成电路加工用清洁设备，涉及清洁技术领域，解决了现有技术中的清洁设备大多只能清洁集成电路板的其中一面，且不能从不同角度清洁集成电路板，导致一些较为顽固的杂物不能被清除，清洁效果一般的技术问题；本实用新型设置有夹持组件，将电路板放置于夹持组件之间当电路板被夹紧后，触发开关控制电动液压杆停止工作，此时电路板被夹至最紧最牢固；设置有旋转电机，利用旋转电机和夹持组件将电路板夹起并旋转，对电路板的各个角度进行清洁；设置有集尘管，集尘管的下端固定安装有吸尘器，利用吸尘器将电路板上的灰尘和碎屑吸走；实现了从不同角度清洁集成电路板，提高了清洁效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种建筑消防设施检测用烟枪

当前第 / 件

一种具备缓冲防散落功能的翻纸机

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：10 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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