发明专利已授权

一种基于光纤白光干涉原理的测厚仪

📄 申请号：CN201610136698.9 📄 发布日：2026/08/27

著录项目信息

申请日

2016-03-10

公开号

CN105806231A

公开日

2016-07-27

申请人

哈尔滨工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_06

IPC 分类号

G01B11_06

技术画像

所属领域

光纤传感技术光纤传感技术光学干涉测量精密测量仪器

应用场景

工业厚度检测, 薄膜厚度测量, 涂层厚度测量, 材料质量控制, 无损检测

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摘要

本发明属于光纤技术领域，具体涉及的是一种基于光纤白光干涉原理的测厚仪。本发明由宽谱光源1、光纤耦合器、光纤功率衰减器3、三端口光纤环行器、光纤准直器、扫描位移台控制的反射镜6、具有长度固定的标定光纤段8、信号处理单元11以及连接光纤组成。本发明通过比较固定的光纤段与这两组条纹的间距长度之比，就能得到待测物体精确的光程厚度，该厚度等于折射率与物理厚度的乘积。此时若知道物体的折射率，则可以精确获得物体的物理厚度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

超微量取样反射式光纤拉曼探针及制作方法

当前第 / 件

触点式在体光纤光谱探针及制作方法

同领域国内专利 · IPC: (G01B11_06)

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