发明专利 已授权

一种通过钝化聚合物晶体管界面提高有机晶体管迁移率的方法

📄 申请号:CN202210137601.1 📄 发布日:2026/08/26

著录项目信息

申请日
2022-02-15
公开号
CN114512612B
公开日
2024-07-12
申请人
南京邮电大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

柔性电子, 有机电子器件, 显示驱动, 传感器

摘要

本发明涉及一种通过钝化聚合物晶体管界面提高有机晶体管迁移率的方法。首先将四氯化铪(HfCl4)溶于去离子水(DI),并将其旋涂于P+掺杂的硅片上,以低温热退火的工艺形成氧化铪(HfO2)薄膜;之后将聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)溶于乙酸丁酯(NBA),旋涂在HfO2薄膜表面,以低温热退火的方式形成很薄的PMMA薄膜,来对HfO2的表面进行钝化,从而减小有机场效应晶体管(OFETs)的回滞,提高OFETs的场效应迁移率。该HfO2薄膜的溶液相工艺操作简单,可在大气环境下进行处理,制备成本低,可适用于大规模的成产,对柔性、可便携电子设备的应用有很好的前景。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (H10K71_00)

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:6 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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