实用新型已授权

一种自主激励静电式大直径MEMS微镜驱动器

📄 申请号：CN202320809707.1 📄 发布日：2026/08/21

著录项目信息

申请日

2023-04-13

公开号

CN219225204U

公开日

2023-06-20

申请人

上海枢光科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G02B26_08

IPC 分类号

G02B26_08

技术画像

所属领域

MEMS微镜微机电系统（MEMS）静电驱动光学微镜 MEMS微镜

应用场景

光通信, 激光雷达, 激光显示, 光学扫描, 生物医学成像

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摘要

本实用新型公开了一种自主激励静电式大直径MEMS微镜驱动器，包括相连接的自激振荡电路(1)和高压放大滤波电路(2)；所述自激振荡电路(1)包括正反馈电路(3)，正反馈电路(3)的输出端依次连接有选频网路(4)和同向比例放大电路(5)；所述高压放大滤波电路(2)包括与同向比例放大电路(5)相连接的高压放大电路(6)，高压放大电路(6)的输出端连接有高压滤波电路(7)；本实用新型的驱动信号通过自激方式产生，无需处理器控制即可产生控制信号直接对MEMS微镜进行驱动，使得MEMS微镜的结构精简。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种钢材折弯机

当前第 / 件

一种FPGA自主恢复电路

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