发明专利已授权

一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置

📄 申请号：CN202110431754.2 📄 发布日：2026/08/20

著录项目信息

申请日

2021-04-21

公开号

CN113146907A

公开日

2021-07-23

申请人

杭州鹏龙科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B29C41_26

IPC 分类号

B29C41_26 , B29C41_36 , B29C41_46 , B29C41_44 , B29C37_00 , F26B21_00 , B29L7_00 ,

技术画像

所属领域

半导体薄膜生长设备半导体薄膜生长设备氮化镓材料气相外延技术

应用场景

LED照明与显示, 功率半导体器件, 射频通信器件, 光电子器件

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置，包括箱体，所述箱体的底部固定连接有底座，所述箱体内腔的右下角固定连接有溶液箱，所述箱体内壁的前后两侧之间且位于溶液箱的顶部转动连接有滚筒，所述滚筒的底部贯穿溶液箱的顶部并延伸至溶液箱的内部，所述箱体的前后两侧之间且位于溶液箱的左侧贯穿滑动连接有引导辊，本发明涉及薄膜制备技术领域。该用于快速制备氮化镓薄膜的装置，通过设置引导辊，可将薄膜牵引至传动辊上，使薄膜贴合传动辊表面，便于后续传输，然后利用第一吹气筒向左上方吹风，可将薄膜的一端吹出装置，便于在外部卷收，操作简单，不同打开箱体进行牵引，大大提高了工作效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

自动外围式清洗拖帕拖地车

当前第 / 件

一种基于MOFs的钴离子印迹聚合物及其制备方法和应用

同领域国内专利 · IPC: (B29C41_26)

B29C41_00 B29C41_02 B29C41_04 B29C41_08 B29C41_12 B29C41_14 B29C41_20 B29C41_24 B29C41_26 B29C41_28 B29C41_30 B29C41_34 B29C41_36 B29C41_38 B29C41_40 B29C41_42 B29C41_44 B29C41_46 B29C41_52 覆盖19个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：6 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)