半导体薄膜生长设备 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

发明已授权

本发明公开了一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置，包括箱体，所述箱体的底部固定连接有底座，所述箱体内腔的右下角固定连接有溶液箱，所述箱体内壁的前后两侧之间且位于溶液箱的顶部转动连接有滚筒，所述滚筒的底部贯穿溶液箱的顶部并延伸至溶液箱的内部，所述箱体的前后两侧之间且位于溶液箱的左侧贯穿滑动连接有引导辊，本发明涉及薄膜制备技术领域。该用于快速制备氮化镓薄膜的装置，通过设置引导辊，可将薄膜牵引至传动辊上，使薄膜贴合传动辊表面，便于后续传输，然后利用第一吹气筒向左上方吹风，可将薄膜的一端吹出装置，便于在外部卷收，操作简单，不同打开箱体进行牵引，大大提高了工作效率。

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一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置