发明专利已授权

一种用于fA～pA量级微弱电流的绝缘薄膜测量系统

📄 申请号：CN201910094589.9 📄 发布日：2026/08/07

著录项目信息

申请日

2019-01-30

公开号

CN109709152A

公开日

2019-05-03

申请人

南通大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N27_00

IPC 分类号

G01N27_00

技术画像

所属领域

测量系统微弱电流测量绝缘薄膜测试电学测量仪器测量系统

应用场景

半导体器件测试, 绝缘材料检测, 薄膜性能评估, 科研实验测量, 电子元器件漏电流检测

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摘要

本发明揭示了一种用于fA～pA量级微弱电流的绝缘薄膜测量系统，其中的电学测试装置中的前置跨阻放大器包括有两个CMOS运算放大器、四个CMOS传输门、四个CMOS反相器、六个电阻、两个电容。绝缘薄膜的漏电流大小通常介于数十fA（10-15A）至数十pA（10-12A），通过合理选择外围元件，前置跨阻放大器的输出电压可达到数μV至几十μV量级，该输出电压信号再经过中间电压放大器、后端电压放大器依次放大，可被电流测量装置准确测量出来，最终送至计算机进行处理、显示。利用本发明的ASIC独有的处理方式，有效地从信号源中过滤掉了运算放大器自身带来的干扰信号。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

快速介电温谱测试方法

当前第 / 件

NiO/Ag/ZnIn2S4异质结纳米片阵列及其制备方法和室温气体传感器

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