发明专利已授权

基于冗余光路的微尺度透明体离焦距离测量装置及方法

📄 申请号：CN201810986633.2 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2018-08-28

申请人

江苏大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_02

IPC 分类号

G01B11_02 , G01N21_17 ,

技术画像

所属领域

测量装置光学测量精密仪器微纳制造距离测量测量装置

应用场景

透明薄膜厚度测量; 微透镜阵列检测; 生物芯片检测; 半导体晶圆测量

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摘要

本发明公开了基于冗余光路的微尺度透明体离焦距离测量装置及方法，涉及微尺度透明体测试技术领域。本发明提供一种通过冗余光路以获取四种不同离焦程度下的相位体图像并根据这些图像计算SPEC参数以确定相位体相对于成像系统物镜在光轴方向上的位置的方法，实现透明相位体三维空间位置的实时测量。本发明通过在光路中增加冗余光路，无需采用光路的机械运动来实现光路的调节，提升系统的稳定性。采用直接计算方式，不需要迭代优化过程，计算过程简单。冗余光路同时工作可实现实时图像获取与处理，可用于相位体运动分析中。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种高速冲击液体动态柔性成形的装置及方法

当前第 / 件

一种可见光促进C-3位芳硒基取代香豆素的合成方法

同领域国内专利 · IPC: (G01B11_02)

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