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摘 要:本发明涉公开了一种氧化物薄膜晶体管的制作方法及氧化物薄膜晶体管,其于形成过程中依次形成第一半氧化物半导体层、第二半氧化物半导体层以及第三半氧化物半导体层,第三半氧化物半导体层中形成第一通孔,在第三氧化物半导体层上以及第一通孔内的刻蚀阻挡层,两个贯穿孔贯穿刻蚀阻挡层、第三氧化物半导体层以及第二氧化物半导体层的位于第一通孔两侧,源极和漏极形成在刻蚀阻挡层上,通过两个贯穿孔与第一氧化物半导体层相连。本发明形成的薄膜晶体电学性能稳定优良。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201610963227.5 | 专利名称: | 一种氧化物薄晶膜晶体管的制作方法及氧化物薄膜晶体管 |
申请日: | 2016-11-04 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | 搜分类 塑料搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2021/01/05 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2020.12.24 专利权人由杭州易正科技有限公司变更为浙江巨力宝纺织科技有限公司 地址由310000 浙江省杭州市西湖区文三路569号康新花园B幢1303室变更为313000 浙江省湖州市吴兴区南太湖高新技术产业园区工业路18号-91 |
2019/06/21 | 授权 | |
2019/01/18 | 专利申请权的转移 | 登记生效日: 2018.12.29 申请人由东莞市联洲知识产权运营管理有限公司变更为杭州易正科技有限公司 地址由523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业工发区生产力大厦406变更为310000 浙江省杭州市西湖区文三路569号康新花园B幢1303室 |
2017/03/08 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 29/786 专利申请号: 201610963227.5 申请日: 2016.11.04 |
2017/02/08 | 公开 |