发明专利已授权

一种基于多孔柱状结构吸收层的角度不敏感激光功率探头及其制备方法

Name: 一种基于多孔柱状结构吸收层的角度不敏感激光功率探头及其制备方法
Brand: 浙江工业大学
SKU: 2022110940003
Availability: InStock

📄 申请号：CN202211094000.3 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2022-09-08

公开号

CN115452144B

公开日

2025-09-12

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01J1_42

IPC 分类号

G01J1_42 , G01J1_04 ,

技术画像

所属领域

激光测量技术激光测量技术光吸收材料光学传感器

应用场景

激光加工设备, 激光器功率校准, 光学实验, 医疗激光设备, 光通信系统

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摘要

本发明涉及一种基于多孔柱状结构吸收层的角度不敏感激光功率探头及其制备方法，所述激光功率探头包括多孔吸收层、铝基板、有机绝缘层、热电偶层、保护层以及引线；所述多孔吸收层位于顶部，所述铝基板位于多孔吸收层下面，所述有机绝缘层位于铝基板背面，所述热电偶层是平面圆对称结构，沉积于有机绝缘层上，所述热电偶层的首、尾两端由所述引线连接；本发明所采用的激光探头的吸收层是多孔柱状减反射设计，使得吸收层对于激光的反射降低，更有效地吸收激光能量，增强信噪比。通过对多孔柱状结构参数的优化，使得反射率对入射角度不敏感，在检测时不必时刻保证激光正入射于产品，将有效地提升激光探测的工作效率。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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