发明专利已授权

气体静压主轴节流孔通气分布状态控制装置

📄 申请号：CN201810200006.1 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2018-03-12

公开号

CN108302120A

公开日

2018-07-20

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F16C32_06

IPC 分类号

F16C32_06

技术画像

所属领域

气体静压轴承气体静压轴承精密主轴技术节流控制

应用场景

超精密加工, 数控机床, 精密测量设备, 半导体制造设备

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摘要

气体静压主轴节流孔通气分布状态控制装置，包括套设在主轴外部、与主轴形成压力气膜的轴套，轴套外部气密地连接一个气室外套；轴套上的节流孔连通外气腔和压力气膜；环形套的壁面上设有通气状态调节器，通气状态调节器包括设置在围绕节流孔的环形套上的刚性正电极和负电极，正电极和负电极之间夹有介电高弹性材料体，介电高弹性材料体暴露在节流孔上；轴套上设有用于检测气膜气压的气压传感器；气室外套外面装有气膜压力场测试装置和控制装置；控制装置根据气膜压力场测试装置所得到的气膜压力场信息和预设的模型得到最佳的主轴节流孔通气分布状态方案，控制节流孔的通气分布状态。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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