发明专利 已授权

一种氢气气敏的WOx/Pd纳米组装材料氢气传感器及其制备方法

📄 申请号:CN202210549106.1 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2022-05-20
公开号
CN115015331A
公开日
2022-09-06
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

氢气泄漏检测, 氢能源安全监控, 工业气体安全监测, 燃料电池汽车, 实验室安全防护

摘要

本发明公开了一种氢气气敏的WOx/Pd纳米组装材料氢气传感器及其制备方法,本发明的WOx/Pd纳米组装材料利用团簇束流沉积技术制备,利用双靶团簇溅射源,在带有绝缘衬底的叉指电极表面先后沉积WOx纳米粒子和Pd纳米粒子,即可得到不同质量比例的WOx/Pd混合纳米粒子组装材料;进一步,利用该材料实现气体传感器件,将此WOx/Pd混合纳米粒子组装材料沉积于带有绝缘衬底的叉指电极表面,即可应用于氢气浓度的定量测量。本发明同现有技术相比,本设计涉及的钨氧化物和钯混合纳米粒子组装材料体系具有更大的比表面积,且由于Pd纳米粒子对氢气的催化解离能力,因此也具有相比单一钨氧化物具有更多的反应位点,可在相对较低的温度下实现高灵敏度和快速响应的氢气感知功能。

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图2
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