发明专利已授权

一种光敏聚酰亚胺材料柔性变角度阵列衍射光学器件的制作方法

📄 申请号：CN201710984180.5 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2017-10-20

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B27_48

IPC 分类号

G02B27_48 , G02B5_18 , G03B21_14 , G02B26_08 ,

技术画像

所属领域

衍射光学器件衍射光学器件光敏聚酰亚胺材料微纳光刻制造

应用场景

增强现实显示, 车载抬头显示, 光束整形, 光通信, 柔性光电子器件

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

一种光敏聚酰亚胺材料柔性变角度阵列衍射光学器件的制作方法，包括以下步骤：步骤1：制备好包含N组一维二元衍射光学结构的柔性变角度阵列衍射光学器件掩模版备用；步骤2：选择硅片作为基底材料并进行清洗；步骤3：硅片上涂敷一层光刻胶，并进行加热固化作为牺牲层；步骤4：光敏聚酰亚胺光刻胶胶液配制；步骤5：在牺牲层上涂敷光敏聚酰亚胺光刻胶，对涂敷好的光敏聚酰亚胺光刻胶进行前烘，使用掩模版进行曝光，再进行显影和后烘固化，形成光敏聚酰亚胺光刻胶衍射图形；步骤6：去除牺牲层以及位于其下的硅片，制成柔性变角度阵列衍射光学器件。本发明全波段散斑抑制效果好、运动方式简单、易于实现、且系统通用性、鲁棒性好、成本低廉。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20200501

✅ 授权

20180501

?? 实质审查的生效：

20180406

📄 公开

双硼氧杂二苯并[A,H]蒽衍生物及其应用

当前第 / 件

一种多无人机辅助物联网的总吞吐量最大化方法

同领域国内专利 · IPC: (G02B27_48)

G02B27_00 G02B27_01 G02B27_02 G02B27_09 G02B27_10 G02B27_22 G02B27_26 G02B27_28 G02B27_30 G02B27_42 G02B27_48 G02B27_58 G02B27_60 G02B27_62 覆盖14个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：17 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)