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一种基于柔性变角度阵列衍射光学器件的激光散斑抑制方法，包括以下步骤：步骤1：将柔性变角度阵列衍射光学器件安装在履带式传送装置上，作为激光散斑抑制系统的机械模块；所述柔性变角度阵列衍射光学器件制作在柔性材料上，由N组一维二元衍射光学结构首尾连接而成；步骤2：步骤1的履带式传送装置，由一个电学控制模块控制；所述电学控制模块，由步进电机驱动来控制柔性变角度阵列衍射光学器件进行连续的履带式运动；步骤3：将由电学控制模块驱动的机械模块置于激光散斑抑制系统中，结合光学模块，实现激光散斑抑制功能。本发明全波段散斑抑制效果好、运动方式简单、易于实现、且系统通用性、鲁棒性好、成本低廉。

一种光敏聚酰亚胺材料柔性变角度阵列衍射光学器件的制作方法，包括以下步骤：步骤1：制备好包含N组一维二元衍射光学结构的柔性变角度阵列衍射光学器件掩模版备用；步骤2：选择硅片作为基底材料并进行清洗；步骤3：硅片上涂敷一层光刻胶，并进行加热固化作为牺牲层；步骤4：光敏聚酰亚胺光刻胶胶液配制；步骤5：在牺牲层上涂敷光敏聚酰亚胺光刻胶，对涂敷好的光敏聚酰亚胺光刻胶进行前烘，使用掩模版进行曝光，再进行显影和后烘固化，形成光敏聚酰亚胺光刻胶衍射图形；步骤6：去除牺牲层以及位于其下的硅片，制成柔性变角度阵列衍射光学器件。本发明全波段散斑抑制效果好、运动方式简单、易于实现、且系统通用性、鲁棒性好、成本低廉。

一种柔性变角度阵列衍射光学器件的热压式制作方法，包括以下步骤：(一)单个衍射光学器件模具制作；(二)柔性变角度阵列衍射光学器件模具制作；(三)在热塑性塑料材料上制作柔性变角度阵列衍射光学器件，备好热塑性柔性材料，并清洁；使用所述柔性变角度阵列衍射光学器件模具，利用热压机进行热压，利用压力和热压时间控制压印深度，所述压印深度由二元衍射光学结构深度h确定；压印结束并冷却后，取下热塑性柔性材料并裁剪，沿Y轴将第1组和第N组一维二元衍射光学结构粘结起来，形成柔性变角度阵列衍射光学器件。本发明全波段散斑抑制效果好、运动方式简单、易于实现、且系统通用性、鲁棒性好、成本低廉。