发明专利 已授权

一种平面抛光方法

📄 申请号:CN201910489131.3 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2019-06-06
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密机械加工, 半导体制造, 光学元件加工, 金属表面处理, 模具制造

摘要

一种平面抛光方法,实现所述方法的装置包括平行摆动机构和顶部摆动机构,所述平行摆动机构为曲柄摇杆机构,所述顶部摆动机构为曲柄滑块机构;所述平行摆动机构带动抓手在抛光盘上带动加工工件摆动;所述抓手呈圆弧状,两抓手的相对位置不变;所述抓手与工件夹具之间无间隔交错运行,设置一种增加工件运动随机性控制反馈系统。本发明以曲柄摇杆为核心原理的摆动机构,配合上端的往复平动的抓手,使得工件在抛光盘上的运动更加复杂无序,从而使得工件的抛光精度更高,也使得抛光盘的研磨更加均匀,寿命更长。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20200818
✅ 授权
20191119
?? 实质审查的生效 :
20191025
📄 公开

同领域国内专利 · IPC: (B24B29_02)

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:38 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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