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一种实现表面精细结构的抛光方法及装置

Name: 一种实现表面精细结构的抛光方法及装置
Brand: 浙江工业大学
SKU: 2021110044398
Availability: InStock

📄 申请号：CN202111004439.8 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2021-08-30

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24C1_08

IPC 分类号

B24C1_08 , B24C5_08 , B24C9_00 ,

技术画像

所属领域

精密加工精密加工表面处理抛光设备

应用场景

精密制造, 光学元件加工, 半导体制造, 模具加工

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摘要

一种实现表面精细结构的抛光方法，包括以下步骤：(1)向被抛光面供给含有抛光颗粒的抛光液；(2)将脉冲激光器对准扩束器得到扩束后的脉冲激光束；(3)将扩束后的脉冲激光束对准模板上的小孔得到具有特定图案的脉冲激光束；(4)将具有特定图案的脉冲激光束对准聚焦透镜组得到聚焦后的脉冲激光束；聚焦后的脉冲激光束入射到透明导流板，作用于抛光液流层。本发明还提供一种实现表面精细结构的抛光方法的装置。本发明将聚焦透镜将脉冲激光能量汇聚到一个较小的区域，有效圈定需要实现的抛光区域，实现定区域抛光，从而实现对表面具有精细激结构器件的超精密抛光。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号：

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：42 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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