发明专利 已授权

基于子束打印技术的可编程3D光束整形装置

📄 申请号:CN202511678054.8 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2025-11-17
公开号
CN121115313B
公开日
2026-04-28
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

激光微加工, 3D打印, 光刻技术, 光学成像, 激光显示

摘要

一种基于子束打印技术的可编程3D光束整形装置,包含激光源,激光源射出初始激光,初始激光经由可旋转的半波片调节偏振态,然后通过第一偏振分光棱镜分离为正交的s分量光束与p分量光束;p分量光束经扩束后射入达曼光栅并产生包含若干衍射级的衍射光束;衍射光束依次通过第二偏振分光棱镜、四分之一波片和第一聚焦元件,由多级相位板阵列引入焦移,并由空间光调制器对子束阵列光束的子组的角度与位置偏移进行调整生成工作光束,工作光束由原光路返回第二偏振分光棱镜并第二聚焦元件射入工作区域,生成三维光场;该装置能够对加工区域内的三维辐照度分布进行精确控制,从而实现多层次、深度可调的能量沉积,显著提升加工的质量、效率及一致性。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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