发明专利 已授权

一种基于光学微谐振腔热光振荡的热耗散率测量方法

📄 申请号:CN201910051665.8 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2019-01-21
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

科研实验, 材料热性能表征, 微纳器件测试, 光学传感, 热管理分析

摘要

一种基于光学微谐振腔热光振荡的热耗散率测量方法,当可调谐激光器扫频光学微谐振腔共振频率时,改变微腔衬底结构或周围介质热参数时,可不断改变热耗散率γr的值。对应一个热耗散率γr,当可调谐激光器扫频光学微谐振腔共振频率时,检测热光振荡传输波形,采集振荡波形上的振荡周期值,将该振荡周期值输入经过训练以及参数优化的神经网络中,可测量得到与其对应的热耗散率γr。本发明具有良好的测量性能,误差较低且易于实现。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20201030
✅ 授权
20190702
?? 实质审查的生效 :
20190607
📄 公开

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