发明专利 已授权

一种无伪影的电子叠层重构方法

📄 申请号:CN202211011645.6 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2022-08-23
公开号
CN115406917A
公开日
2022-11-29
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

电子显微成像, 材料科学, 半导体检测, 生物成像, 纳米结构表征

摘要

一种无伪影的电子叠层重构方法,包括:(1)四维扫描透射电子显微镜(4D‑STEM)数据采集;(2)对采集的数据使用单边频带电子叠层重构算法重构样品图像;(3)在电子叠层重构算法实施过程中对样品相位信息的衬度传递进行调制;(4)生成样品的相位衬度图像。通过上述技术步骤的实施可以消除原有单边频带电子叠层重构算法的成像衬度伪影,实现对样品本征结构的揭示。本发明消除了单边频带电子叠层重构技术的成像衬度伪影,提高了电子叠层重构图像的质量与可信度。

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这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN115406917A

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

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