发明专利已授权

一种薄膜与基体结合力测量方法

📄 申请号：CN201811565189.3 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2018-12-20

公开号

CN109406394B

公开日

2024-05-31

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N19_04

IPC 分类号

G01N19_04

技术画像

所属领域

薄膜材料薄膜材料界面结合强度测试材料力学性能测试

应用场景

薄膜材料研发, 涂层质量检验, 半导体器件制造, 表面处理, 工业质量控制

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摘要

本发明公开了一种薄膜与基体结合力步进电机驱动齿轮传动测量装置，包括电机驱动装置和结合力测定装置。电机驱动装置由步进电机和齿轮等部件组成；薄膜结合力测定装置主要由拉力传感器和可拆卸金属块等部件组成。本发明结构设计巧妙，使用方便，安全牢固，组装方便，大大提高了测量薄膜结合力的速度。应用本装置测量薄膜基体结合力，操作简单，测量范围广，测量结合力的准确性高，稳定性强。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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