发明专利已授权

一种多区域微调节气浮垫

📄 申请号：CN202110698133.0 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2021-06-23

公开号

CN113280046A

公开日

2021-08-20

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F16C32_06

IPC 分类号

F16C32_06

技术画像

所属领域

气浮轴承气浮轴承精密运动控制微调节机构

应用场景

超精密加工, 半导体设备, 精密测量, 气浮导轨, 精密定位平台

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摘要

本发明公开了一种多区域微调节气浮垫，包括气浮垫本体，所述气浮垫本体生成气膜的表面上通过十字槽划分出四个区域，每个区域均包括独立的节流孔、进气通道和均压槽；所述进气通道设置在每个区域的气浮垫本体的侧面，均压槽设置在每个区域形成气膜的表面上，节流孔设置在均压槽内，所述节流孔与进气通道相连通；本发明可通过独立控制各区域进气通道，实现气浮垫各区域气膜厚度微调，进而达到在不平整平面上对气浮垫调平的功能；相对于多个气浮垫，本发明多区域微调节气浮垫结构更为简洁，同时可有效避免因安装等因素所造成的误差远大于气浮垫所能微调的距离的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种通过植酸酶得到肌醇的方法

当前第 / 件

一种全取代吡咯类化合物及其制备方法

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：18 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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