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本发明公开了一种多区域微调节气浮垫，包括气浮垫本体，所述气浮垫本体生成气膜的表面上通过十字槽划分出四个区域，每个区域均包括独立的节流孔、进气通道和均压槽；所述进气通道设置在每个区域的气浮垫本体的侧面，均压槽设置在每个区域形成气膜的表面上，节流孔设置在均压槽内，所述节流孔与进气通道相连通；本发明可通过独立控制各区域进气通道，实现气浮垫各区域气膜厚度微调，进而达到在不平整平面上对气浮垫调平的功能；相对于多个气浮垫，本发明多区域微调节气浮垫结构更为简洁，同时可有效避免因安装等因素所造成的误差远大于气浮垫所能微调的距离的问题。

本发明公开了基于静压气浮轴承的AACMM高精度关节及其支承方法。关节误差影响关节式坐标测量机的测量精度。本发明的止推轴承一有两处间距排布的径向通气孔组对关节臂机芯主轴进行径向支承，且止推轴承一的止推孔一和止推轴承二的止推孔二相对设置，对关节臂机芯主轴两端进行轴向支承；圆光栅盘随关节臂机芯主轴转动，读数头读取圆光栅盘的读数。本发明利用气浮轴承可以减小运动过程中产生的径向和轴向误差、减小摩擦力的特性，将气浮轴承用到关节式坐标测量机关节上，通过合理的结构设计来减小关节式坐标测量机测量过程中的关节误差，提高关节式坐标测量机的测量精度。

本发明公开了一种非接触式平面气浮轴承试验台加载机构，该试验台加载机构主要由上部压力头和下部装在被测平面气浮轴承上端面的正压加载模块构成，二者由球头轴承连接。压力头包括加载螺栓、安装在加载螺栓上的手轮、固定框架；正压加载模块包括正压进气口、正压腔体、弹性箔片；正压加载模块通过正压进气口通入高压气体，对被测平面气浮轴承进行加载；测试时，正压加载模块与平面气浮轴承上表面间形成气膜，通过气膜对被测平面气浮轴承施加加载力，两相对活动面之间具有一定间隙，是非直接接触加载的。本发明的试验台加载机构进行加载时与被测平面气浮轴承无接触、动态检测、操作方便。

本实用新型涉及一种狭缝节流气浮转台，包括转轴、工作台、驱动部件及气浮轴承，转轴包括转轴主体、上法兰与下法兰，工作台设在上法兰上，驱动部件设在下法兰上，气浮轴承包括下止推凸台、径向节流套以及径向端环、气室外套，气室外套与径向节流套之间形成气室；在下止推凸台上设下定位台阶，在下定位台阶上设下止推圆环；在工作台与上法兰之间设上止推凸台，在上止推凸台上设上定位台阶，在上定位台阶上设上止推圆环，在上止推圆环与下止推圆环之间设定距环；在径向节流套上形成狭缝，在上定位台阶处形成狭缝，在下定位台阶处形成狭缝，气体从狭缝进入转轴的外表面并形成气膜。防止气锤振动及微观跳动现象发生，工作更加稳定，具有更好的精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利