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基于弹性模量连续变化研抛盘的层积式制备装置及方法

Name: 基于弹性模量连续变化研抛盘的层积式制备装置及方法
Brand: 浙江工业大学
SKU: 2019100770381
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910077038.1 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-01-27

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24D18_00

IPC 分类号

B24D18_00

技术画像

所属领域

功能梯度材料功能梯度材料研磨抛光工具层积制造

应用场景

精密加工, 模具抛光, 光学元件加工, 半导体晶圆抛光, 机械零件表面光整

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摘要

本发明公开了一种基于弹性模量连续变化研抛盘的层积式制备装置及方法，包括X轴运动模组、Y轴运动模组、Z轴运动模组、机架、控制面板、热床、调平校准平台、高聚物保温箱、高聚物输送泵、磨粒桶、粉体输送泵和控制单元；本发明本发明通过粉量控制器控制静电磨粒喷枪在运动路径上的单位时间的喷粉量，与高聚物层、磨粒层的层层铺垫解决磨粒易于沉降现象，制作得到的成品研抛盘质量不理想的问题；通过高聚物、引发剂、固化剂和磨粒分离存储解决了磨粒混合物黏附在管路管道及阀门处，容易固结并堵塞装置的问题；通过替换廉价塑料件高聚物混合阀接头，避免了每次需要制备新配比的研抛盘时，需要更换或清洁装置的容器及其管路，避免前次制备的污染问题。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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