发明专利已授权

一种基于衬底集成波导双重入式谐振腔的差分湿度传感器

📄 申请号：CN202110876949.8 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2021-07-31

公开号

CN113740353A

公开日

2021-12-03

申请人

西南大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N22_04

IPC 分类号

G01N22_04

技术画像

所属领域

基板集成波导基板集成波导微波谐振腔传感器湿度检测技术

应用场景

环境监测, 工业自动化, 物联网, 智能农业, 仓储物流

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摘要

一种基于衬底集成波导双重入式谐振腔的差分湿度传感器，将两个重入式谐振腔纵向地结合在一起，两腔体分别做传感谐振腔和参考谐振腔，在传感谐振腔的凹槽区域沉积可吸附湿润空气中水分子的敏感材料，水分子扩散到敏感材料中会导致其内在特征发生变化，从而在传感谐振腔内激发强诱导电场与吸湿材料间的相互作用。在参考谐振腔内激发强诱导电场与湿润空气介质间的相互作用，利用两个腔体对应的金属栅网，中间空气填充型介质基板和电容柱金属化通孔，从而获得一种结构紧凑，湿润空气进出自由，上下流通性强，湿润空气的水分子能够富集在腔体内与吸湿材料充分反应，元器件又相互独立的高灵敏度和高分辨率的湿度传感器。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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